ZY系列复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵，是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了复合分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域
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技术数据 |
ZYFB-600复合分子泵 |
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高真空法兰(mm) |
150 CF |
160 ISO-K |
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前级管道法兰(mm) |
40 KF |
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抽气速(L/S)(对空气) |
600 |
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压缩比 |
N2 |
>109 |
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H2 |
>8X103 |
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极限压强(Pa) |
<8×10-8 |
<5×10-7 |
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电机转数(rpm) |
24000 |
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振动值 |
≤0.1μm |
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启动时间(min) |
<4.5 |
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建议采用的前级泵（L／S） |
4-8 |
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冷却方式 |
水冷(风冷) |
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水冷泵冷却水温度（℃） |
≤20 |
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风冷泵环境温度（℃） |
≤35 |
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水冷冷却水流量(L/min) |
1 |
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泵体烘烤温度（℃） |
<120 |
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加热器功率(w) |
<250 |
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加热器输入电压(v) |
AC220 |
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安装方向 |
垂直±5° |
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泵重量(kg) |
≈25 |
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